中文规范称号: 集成电路制版设施名词术语

替代规范号: ,

中国规范分类号: 医药、卫生、休息维护>>医药、卫生、休息维护综合>>c01技巧治理

规范状态: 现行

规范存眷次数: 26次

规范上传日期: 2010-1-20

公布日期: 1988-03-10

施行日期: 1988-10-01

英文规范称号: terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing

规范种别: 电子行业规范

规范页数: 16页