申请(专利)号：200580016803.5

名称：用于电镀浴化学剂控制的方法

公开(公告)号：CN1957115

公开(公告)日：2007.05.02

主分类号：C25D21/12(2006.01)I

分类号：C25D21/12(2006.01)I;C25D21/18(2006.01)I

申请(专利权)人：应用材料公司

地址：美国加利福尼亚州

发明(设计)人：阿隆·罗森费尔德;霍曼·哈非兹;志文·孙;迈克尔·扬;约瑟夫·本克

专利代理机构：北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：赵飞

摘要 通过将电镀浴溶液提供到构造为小化添加剂分解的小容积电镀单元丙在预定浴寿命之后废弃电镀浴，提供了一种用于控制电镀浴溶液的化学成分的方法，该电镀浴溶液用于电镀多个衬底。该方法包括确定具有所期望的化学成分的电镀浴溶液的寿命，用电镀浴溶液填充小容积电镀单元，在电镀浴溶液中电镀多个衬底直到达到寿命，并在达到寿命之后废弃电镀浴溶液。