规范编号：SJ/T 11131-1997规范简介

本规范规则了蒸发镀膜设施根本参数系列。

本规范实用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范畴内的钟罩式以及箱式蒸发镀膜设施。

英文称号： Basic parameter series of evaporation plating equipment

代替状况： SJ 1098-77 SJ 1099-77

中标分类： 医药、卫生、休息维护>>医药、卫生、休息维护综合>>C01技巧治理

ICS分类： 电子学>>31.020电子元件综合

公布部门： 中华群众共以及国电子产业部

公布日期： 1997-09-03

施行日期： 1998-01-01

归口单元： 电子产业部规范化钻研所

草拟单元： 成都南光实业股分无限公司

草拟人： 陈华先、谭丽、康开丽

页数： 4页

出书社： 电子产业部规范化钻研

出书日期： 1998-01-01