电镀
微电子装置中的钴化学镀
2021-09-08 09:18  浏览:195
 

地下号 101238239

地下日 20080806

请求人 恩索恩公司

地点 美国康涅狄格州

一种于微电子安装的制作中正在金属基的基材上堆积Co或Co合金的化学镀办法以及组合物,包罗一种Co离子源,一种用于将堆积离子正在基材上复原成金属的复原剂,及一种肟基化合物稳固剂。

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