地下号 101281858

地下日 20081008

请求人 株式会社荏原制造所

地点 日本东京

提供了一种基片放弃安装，其包罗：一个固定放弃元件以及一个可挪动放弃元件，它们用于将一个基片放弃正在它们之间;一个内侧密封元件，其用于与所述基片的周部压力接触，以密封居处述周部;和一个外侧密封元件，其环抱着所述基片安排，用于将所述可挪动放弃元件以及所述固定放弃元件之间密封。还提供了一种包罗此基片放弃安装的电镀设施。